DLCの膜構造および電気特性における熱拡散ホウ素ドーピングの影響
DLCの膜構造および電気特性における熱拡散ホウ素ドーピングの影響
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热扩散硼掺杂对DLC薄膜结构和电性能的影响
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
アルヤ アミラ，藤本桂大，平栗健二，本間彰彦，大越康晴
中科院分区：
文献类型：
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作者：
糀谷 泰彦;幸田 茂也;姫野 友紀子;牧山 武;木村 剛;野間 昭典;天野 晃;アルヤ アミラ，藤本桂大，平栗健二，本間彰彦，大越康晴
