C_8F_<18>プラズマCVDにおける発光スペクトルとa-C:F膜の化学結合状態の関連
C_8F_<18>プラズマCVDにおける発光スペクトルとa-C:F膜の化学結合状態の関連
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C_8F_<18>等离子CVD中a-C:F薄膜的发射光谱与化学键态的关系
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
小池広恵
中科院分区：
文献类型：
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作者：
小池広恵;(発表者);菅原広剛;酒井洋輔;須田善行;山内達也;小池広恵
