Scaling Behavior of Internal Stress in Gold Thin Films
Scaling Behavior of Internal Stress in Gold Thin Films
复制标题
金薄膜内应力的结垢行为
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
M. Saito
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. Machida;M. Saito
