低加速SEMのためのSTJ X線検出器を用いた軟X線分光器の開発
低加速SEMのためのSTJ X線検出器を用いた軟X線分光器の開発
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开发使用 STJ X 射线探测器的低加速 SEM 软 X 射线光谱仪
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
藤井剛
中科院分区：
文献类型：
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作者：
保井晃;池永英司;小谷佳範;辻成希;上野若菜;中村哲也;藤井剛
