ミストCVD法によるIGZO TFTの作製
ミストCVD法によるIGZO TFTの作製
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雾气CVD法制造IGZO TFT
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
古田守
中科院分区：
文献类型：
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作者：
川原村敏幸;王大鵬;古田守
