電子材料応用を目指した遷移金属酸窒化物の薄膜合成
電子材料応用を目指した遷移金属酸窒化物の薄膜合成
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用于电子材料应用的过渡金属氮氧化物的薄膜合成
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
廣瀬靖
中科院分区：
文献类型：
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作者：
城内嶺;齋藤俊晴;夏田慎一郎;玉井 康成;大北英生;廣瀬靖
