Soft X-ray Absorption Spectroscopy using SR for EUV Resist Chemical Reaction Analysis
Soft X-ray Absorption Spectroscopy using SR for EUV Resist Chemical Reaction Analysis
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使用 SR 进行 EUV 抗蚀剂化学反应分析的软 X 射线吸收光谱
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Takeo Watanabe
中科院分区：
文献类型：
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作者：
A. Ikeda;R. Sumina;H. Ikenoue;T. Asano;M.Hatano;前田祐作; 寺尾京平; 鈴木孝明; 下川房男; 高尾英邦;Takeo Watanabe
