LiNbO3/Si hybrid wafer bonded in ambient air using laser irradiation
LiNbO3/Si hybrid wafer bonded in ambient air using laser irradiation
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使用激光照射在环境空气中粘合 LiNbO3/Si 混合晶圆
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and Tanemasa Asano
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Ryo Takigawa;Hiroki Kawano;Hiroshi Ikenoue;and Tanemasa Asano
