スロットダイコーターの精密計測に関する研究　　第2報 マイクロプローブによる溝幅分布測定システムの構築‐

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槽模涂布机精密测量研究第2部分基于微探针的槽宽分布测量系统的构建-

DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
伊東聡，菊地浩貴，陳遠流，清水裕樹，高偉，高橋和彦，金山利彦，荒川訓明，林敦
伊東聡，菊地浩貴，陳遠流，清水裕樹，高偉，高橋和彦，金山利彦，荒川訓明，林敦
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
So Ito;Yuan-Liu Chen;Yuki Shimizu;Hirotaka Kikuchi;Wei Gao;Kazuhiko Takahashi;Toshihiko Kanayama;Kunmei Arakawa;Atsushi Hayashi;伊東聡，菊地浩貴，陳遠流，清水裕樹，高偉，高橋和彦，金山利彦，荒川訓明，林敦

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