紀旺, シリコン研削切りくずへ のミリ秒レーザ照 射による 3C-SiCナノワイヤ生成

紀旺, シリコン研削切りくずへ のミリ秒レーザ照 射による 3C-SiCナノワイヤ生成
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Kiow,通过硅研磨芯片的毫秒激光照射生成3C-SiC纳米线

DOI:
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发表时间:
2022
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
南 かのん,小日向 恭祐,閻 紀旺
南 かのん,小日向 恭祐,閻 紀旺
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
上井 勇人;稲葉 匡司;矢野 猛;南 かのん,小日向 恭祐,閻 紀旺

文献摘要

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