可変機能をもつRF MEMS構造体の最適設計のための数値解析
可変機能をもつRF MEMS構造体の最適設計のための数値解析
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具有可变功能的 RF MEMS 结构优化设计的数值分析
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
黒田道子
中科院分区：
文献类型：
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作者：
森貴史;シャフリダ・サラニ;河野幸平;黒田道子
