島田 尚一、井川 直哉 他: "光線基準を用いた機器要素の直進運動精度の測定" 精密工学会誌. (1991)

島田 尚一、井川 直哉 他: "光線基準を用いた機器要素の直進運動精度の測定" 精密工学会誌. (1991)
复制标题

Shoichi Shimada、Naoya Ikawa 等人:“使用光束基准测量设备元件的线性运动精度”日本精密工程学会杂志(1991 年)。

DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
--
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:

文献摘要

相似文献