フォトリソグラフィを利用したプラズマアクチュエータへの微細電極の作成
フォトリソグラフィを利用したプラズマアクチュエータへの微細電極の作成
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使用光刻技术为等离子体执行器创建精细电极
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
足立 翔，松野 隆，松永 忠雄
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Ikuya Yoshimi;Yuto Miwa and Takashi Matsuno;足立 翔，松野 隆，松永 忠雄
