Yasushi Inoue: "Mass Spectroscopy in Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition of Silicon-Oxide Films Using Tetramethoxysilane" Thin Solid Films. 316. 79-84 (1998)

Yasushi Inoue: "Mass Spectroscopy in Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition of Silicon-Oxide Films Using Tetramethoxysilane" Thin Solid Films. 316. 79-84 (1998)
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Yasushi Inoue:“使用四甲氧基硅烷对氧化硅薄膜进行等离子体增强化学气相沉积的质谱”固体薄膜。

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