Two-dimensional measurement of resonance in MEMS resonators using stroboscopic differential interference contrast microscopy
Two-dimensional measurement of resonance in MEMS resonators using stroboscopic differential interference contrast microscopy
复制标题
使用频闪微分干涉显微镜对 MEMS 谐振器中的谐振进行二维测量
DOI：
10.1364/oe.460769
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
3.8
通讯作者：
Zhang Ya
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Iimori Mirai;Zhang Ya
