Y.TAKAYA,H.SHIMIZU,S. TAKAHASHI, T. MIYOSHI: "Fundament study on the new probe technique for the nano-CMM based on the laser trapping and mirau interferometer"Measurement. 25. 9-18 (1999)
Y.TAKAYA,H.SHIMIZU,S. TAKAHASHI, T. MIYOSHI: "Fundament study on the new probe technique for the nano-CMM based on the laser trapping and mirau interferometer"Measurement. 25. 9-18 (1999)
复制标题
Y.TAKAYA,H.SHIMIZU,S.
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
