高周波放電プラズマにおける基板への熱流束と電力測定
高周波放電プラズマにおける基板への熱流束と電力測定
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高频放电等离子体中基材的热通量和功率测量
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
蜂谷憲一郎 ほか
中科院分区：
文献类型：
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作者：
三浦英俊;蜂谷憲一郎 ほか
