Continuous Cellular Automaton for the propagation of advancing fronts featuring surface morphologies: Realistic simulation of wet etching for MEMS applications
Continuous Cellular Automaton for the propagation of advancing fronts featuring surface morphologies: Realistic simulation of wet etching for MEMS applications
复制标题
用于传播具有表面形态的先进前沿的连续元胞自动机：MEMS 应用湿法蚀刻的真实模拟
DOI：
--
复制
发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
K. Sato
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
M.A. Gosalvez;Y. Xing;K. Sato
