Characterisation of an RF atomic nitrogen plasma source
Characterisation of an RF atomic nitrogen plasma source
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RF 原子氮等离子体源的表征
DOI：
10.1016/s0022-0248(98)01361-x
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发表时间：
1999
影响因子：
1.8
通讯作者：
J. Klaassen
中科院分区：
文献类型：
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作者：
D. Voulot;R. W. McCullough;W. R. Thompson;D. Burns;J. Geddes;G. Cosimini;E. Nelson;P. Chow;J. Klaassen
