HPPMS deposition from composite targets: Effect of two orders of magnitude target power density changes on the composition of sputtered Cr-Al-C thin films
HPPMS deposition from composite targets: Effect of two orders of magnitude target power density changes on the composition of sputtered Cr-Al-C thin films
复制标题
复合靶 HPPMS 沉积：两个数量级的靶功率密度变化对溅射 Cr-Al-C 薄膜成分的影响
DOI：
10.1016/j.vacuum.2017.08.048
复制
发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
4
通讯作者：
J. Schneider
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
H. Rueß;M. Baben;S. Mráz;L. Shang;P. Polcik;S. Kolozsvári;M. Hans;D. Primetzhofer;J. Schneider
