Formation of Single Crystalline Silicon with Midair Cavity for Meniscus Force-Mediated Local Layer Transfer and Fabrication of High-Performance MOSFETs on Insulator
Formation of Single Crystalline Silicon with Midair Cavity for Meniscus Force-Mediated Local Layer Transfer and Fabrication of High-Performance MOSFETs on Insulator
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形成具有半空气腔的单晶硅，用于弯液面力介导的局部层转移以及绝缘体上高性能 MOSFET 的制造
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K. Hiramatsu and S. Higashi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. Akazawa;S. Takeshima;A. Nakagawa;K. Hiramatsu and S. Higashi
