古川勇二他: "高能率,高精度異方性エッチング条件の選定指針" 精密工学会誌. 62・3. 428-432 (1996)
古川勇二他: "高能率,高精度異方性エッチング条件の選定指針" 精密工学会誌. 62・3. 428-432 (1996)
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Yuji Furukawa 等：“高效率、高精度各向异性蚀刻条件选择指南”日本精密工程学会杂志 62・3（1996 年）。
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