Hydrogen in amorphous Si and Ge during solid phase epitaxy
Hydrogen in amorphous Si and Ge during solid phase epitaxy
复制标题
固相外延过程中非晶硅和Ge中的氢
DOI：
10.1016/j.tsf.2009.09.145
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
2.1
通讯作者：
Paul Gortmaker
中科院分区：
文献类型：
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作者：
B. Johnson;P. Caradonna;D. Pyke;J. McCallum;Paul Gortmaker
