近接場光学とMEMS技術
近接場光学とMEMS技術
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近场光学和MEMS技术
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
小野崇人
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y.Kitade;Y.Takei;T.Misawa;N.Kubota;T.Oyabu;H.Nanto;寒川誠二;小野崇人
