Multistep inorganic synthesis with atomic layer deposition to fabricate 3-dimensional THz phononic structure
Multistep inorganic synthesis with atomic layer deposition to fabricate 3-dimensional THz phononic structure
复制标题
多步无机合成与原子层沉积制造3维太赫兹声子结构
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Norifusa Satoh
中科院分区：
文献类型：
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作者：
城内嶺;齋藤俊晴;夏田慎一郎;玉井 康成;大北英生;廣瀬靖;董一穎，大石昌嗣，佐藤維実，村松眞由，清水信，湯上浩雄，井口史匡;Norifusa Satoh
