M.Goto: "Siryl Radical Detection in a Silane Plasma Using Ultra-Violet Transmission Spectroscopy" Proc. Int. Workshop on Plasma Sources and Surface Interactions in Materials Processing. PII-4 (1995)
M.Goto: "Siryl Radical Detection in a Silane Plasma Using Ultra-Violet Transmission Spectroscopy" Proc. Int. Workshop on Plasma Sources and Surface Interactions in Materials Processing. PII-4 (1995)
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M.Goto：“使用紫外透射光谱法检测硅烷等离子体中的甲硅烷基自由基”Proc。
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