Localized Catalytic Chemical Etching of Silicon with Platinum-coated AFM Probe for Nanoscale Patterning
Localized Catalytic Chemical Etching of Silicon with Platinum-coated AFM Probe for Nanoscale Patterning
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使用镀铂 AFM 探针对硅进行局部催化化学蚀刻以实现纳米级图案化
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T. Shibata
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K. Yamamoto;J. Sasano;M. Nagai;T. Shibata
