Masamitsu Shirai, et al.: "Highly Sensitive Positive Surface Modification Resists"Microelectronic Eng.. 53. 475-478 (2000)
Masamitsu Shirai, et al.: "Highly Sensitive Positive Surface Modification Resists"Microelectronic Eng.. 53. 475-478 (2000)
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Masamitsu Shirai 等：“高灵敏度正表面改性抗蚀剂”微电子工程 53. 475-478 (2000)
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