物理気相成長法による銅基板上への六方晶窒化ホウ素薄膜の合成

物理気相成長法による銅基板上への六方晶窒化ホウ素薄膜の合成
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物理气相沉积法在铜基体上合成六方氮化硼薄膜

DOI:
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发表时间:
2019
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
大竹尚登
大竹尚登
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
吉里樹人;平田祐樹;赤坂大樹;大竹尚登

文献摘要

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