差動ボールねじを用いたミリストローク超精密位置決め(基礎実験のための位置決め機構の構成)
差動ボールねじを用いたミリストローク超精密位置決め(基礎実験のための位置決め機構の構成)
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使用差动滚珠丝杠的毫行程超精密定位（基础实验用定位机构配置）
DOI：
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发表时间：
2003
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
有賀直人
中科院分区：
文献类型：
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作者：
深田茂生;本橋茂之;福岡万貴;福井大幹;有賀直人
