La2O3/SnO2積層素子を用いたMEMS CO2センサの検出特性
La2O3/SnO2積層素子を用いたMEMS CO2センサの検出特性
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La2O3/SnO2叠层元件MEMS CO2传感器的检测特性
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
澤田和明
中科院分区：
文献类型：
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作者：
岩田達哉;Carine Soo Wei Ping;松田恭輔;高橋一浩;澤田和明
