紫外線照射を行ったSi_3N_4膜における電気伝導機構の検討(II)
紫外線照射を行ったSi_3N_4膜における電気伝導機構の検討(II)
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紫外线照射下Si_3N_4薄膜的导电机理研究（二）
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
小林清輝
中科院分区：
文献类型：
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作者：
石川貢吉;浅妻裕文;渡辺紘章;村田龍紀;浅井孝祐;土本淳一;小林清輝
