Epitaxial lateral overgrowth of A1N on trench-patterned AlN layers

Epitaxial lateral overgrowth of A1N on trench-patterned AlN layers
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AlN 在沟槽图案 AlN 层上的外延横向过度生长

DOI:
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发表时间:
2007
期刊:
Journal of Crystal Growth 298
影响因子:
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通讯作者:
A. Bandoh
A. Bandoh
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
M. Imura;K. Nakano;G. Narita;N. Fujimoto;N. Okada,. K. Balakrishnan;M. Iwaya;S. Kamiyama;H. Amano;I. Akasaki;T. Noro T. Takagi;A. Bandoh

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