T.Kitano: "Annealing properties of defects in BF_2^+ implanted Si" MRS Symp.Proc.438. 137-142 (1997)

T.Kitano: "Annealing properties of defects in BF_2^+ implanted Si" MRS Symp.Proc.438. 137-142 (1997)
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T.Kitano:“BF_2^ 注入 Si 中缺陷的退火特性”MRS Symp.Proc.438。

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