Ti-Mo-N反応性スパッタ薄膜の摩耗特性に及ぼす窒素濃度依存性
Ti-Mo-N反応性スパッタ薄膜の摩耗特性に及ぼす窒素濃度依存性
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Ti-Mo-N 反应溅射薄膜磨损特性的氮浓度依赖性
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
櫻井正俊
中科院分区：
文献类型：
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作者：
須藤祐司;小宮山翔子;小池淳一;王嫩;櫻井正俊
