GaN研磨加工高能率化の研究（第1報） -小型研磨機を用いた反射型光路による紫外線照射と強アルカリ機能水の効果-
GaN研磨加工高能率化の研究（第1報） -小型研磨機を用いた反射型光路による紫外線照射と強アルカリ機能水の効果-
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提高GaN抛光效率的研究（第一次报告） - 使用小型抛光机利用反射光路的紫外线照射和强碱性功能水的效果 -
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
山本栄一,伊東利洋
中科院分区：
文献类型：
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作者：
藤野雄大,松井伸介,遠藤謙人 矢島利康,二宮大輔;山本栄一,伊東利洋
