K.Tsubouchi: "Area Selective Al CVD Technology(Invited Paper)" Proceedings of International Conference on Advanced Microelectronic Devices and Processing,Sendai. 77-84 (1994)
K.Tsubouchi: "Area Selective Al CVD Technology(Invited Paper)" Proceedings of International Conference on Advanced Microelectronic Devices and Processing,Sendai. 77-84 (1994)
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K.Tsubouchi：“区域选择性Al CVD技术（特邀论文）”先进微电子器件与加工国际会议论文集，仙台。
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