S. Terakado: "New microfablication technique on a submicrometer sacle by synchrotron radiation-excited etching" J. Vac. Sci. Technol. B. 13-6. 2175-2178 (1995)
S. Terakado: "New microfablication technique on a submicrometer sacle by synchrotron radiation-excited etching" J. Vac. Sci. Technol. B. 13-6. 2175-2178 (1995)
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S. Terakado：“通过同步辐射激发蚀刻在亚微米囊上进行新的微加工技术” J. Vac。
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