Numerical simulation of magnetron fields under unbalanced and closed-field unbalanced magnetron and the effect on the feature of plasma
Numerical simulation of magnetron fields under unbalanced and closed-field unbalanced magnetron and the effect on the feature of plasma
复制标题
不平衡及闭场不平衡磁控管下磁控场的数值模拟及其对等离子体特性的影响
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Yanwen Zhou
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Yue Liu;Zhuo Zhao;Peter Kelly;Yanwen Zhou
