Influence of carrier gas and growth temperature on MOVPE growth of AlN
Influence of carrier gas and growth temperature on MOVPE growth of AlN
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载气和生长温度对AlN MOVPE生长的影响
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Miyagawa;R; Yang;S; Miyake;H; Hiramatsu;K
