Modeling of liquid film flow during spin-coating; Marangoni-Benard instability in parallel basic flow
Modeling of liquid film flow during spin-coating; Marangoni-Benard instability in parallel basic flow
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旋涂过程中液膜流动的建模；
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Hideaki Nagano
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Kohei Ono;Suguru Shiratori;Kenjiro Shimano;Hideaki Nagano
