SiGeの熱酸化機構
SiGeの熱酸化機構
复制标题
SiGe的热氧化机理
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
鳥海 明
中科院分区：
文献类型：
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作者：
宋 宇振;李 秀妍;野間 勇助;西村 知紀;鳥海 明
