FLA でのa-Siの結晶化におけるSiNx反射防止膜とパルス光入射方向の影響
FLA でのa-Siの結晶化におけるSiNx反射防止膜とパルス光入射方向の影響
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SiNx增透膜和脉冲光入射方向对FLA中a-Si结晶的影响
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
大平 圭介
中科院分区：
文献类型：
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作者：
園田 裕生;大平 圭介
