平面リニアモータの精度校正に関する研究(第1報) -反射ミラーの形状計測-
平面リニアモータの精度校正に関する研究(第1報) -反射ミラーの形状計測-
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平面直线电机精度标定研究（第1次报告）-反射镜的形状测量-
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
陳欣
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Ishikawa;K.;陳欣
