メタルアシストエッチングで作製したシリコンナノワイヤの機能素子化検討
メタルアシストエッチングで作製したシリコンナノワイヤの機能素子化検討
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通过金属辅助蚀刻制成功能器件的硅纳米线的检查
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
新宮原正三
中科院分区：
文献类型：
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作者：
田中規寛;近藤彰人;大塚慎太郎;原安寛;清水智弘;新宮原正三
