Analysis of self-standing structure composedby thick resist layers
Analysis of self-standing structure composedby thick resist layers
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厚抗蚀剂层组成的自支撑结构分析
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Akira Kawai
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Akihiro Takano;Akira Kawai
