H.Kawasaki,Y.Matsuda,H.Fujiyama: "Preparing of LargeーArea Uniform Thin Film Using a Modulated Cross Magnetic Field" Proc.of the 8th Symposium on Plasma Processing. 185-188 (1991)
H.Kawasaki,Y.Matsuda,H.Fujiyama: "Preparing of LargeーArea Uniform Thin Film Using a Modulated Cross Magnetic Field" Proc.of the 8th Symposium on Plasma Processing. 185-188 (1991)
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H. Kawasaki、Y. Matsuda、H. Fujiyama：“利用调制交叉磁场制备大面积均匀薄膜”第 8 届等离子体处理研讨会论文集 (1991)。
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