Development of self-heated cathode for thermally assisted reactive ion etching of minor metals
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稀有金属热辅助反应离子刻蚀自热阴极的研制
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Takashi Abe
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Gang Han;Yuki Murata;Daiki Okawa;Masayuki Sohgawa;Takashi Abe
