Piezoresistive displacement sensor integrated in resonant varifocal mirror
Piezoresistive displacement sensor integrated in resonant varifocal mirror
复制标题
集成在谐振变焦镜中的压阻式位移传感器
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K. Hane
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K. Nakazawa;T. Sasaki;H. Furuta;J. Kamiya;T. Kamiya;K. Hane
