インピーダンス計測プラットフォーム技術を用いたSiN膜中トラップ特性の統計的計測
インピーダンス計測プラットフォーム技術を用いたSiN膜中トラップ特性の統計的計測
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利用阻抗测量平台技术统计测量SiN薄膜中的陷阱特性
DOI：
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发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
黒田理人
中科院分区：
文献类型：
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作者：
齊藤宏河;鈴木達彦;光田薫未;間脇武蔵;諏訪智之;寺本章伸;須川成利;黒田理人
